建设5G滤波器产业化项目，集“EDA软件、芯片设计、晶圆加工、模组封装”于一体，产品包括高端滤波器、双工器、射频模组等。已建成国内自主压电晶圆滤波器产线，拥有核心设备200余台，拥有国际主流、国内先进的设备及工艺。一期创新平台洁净厂房6300平米。

面向智能传感器及AI/RF/BIO MEMS，联合千方科技、软通动力等应用企业，以及导远电子、电通纬创等设计企业，建设高端智能器件研发验证中心，并开展多元化业务和产业生态合作。二期创新洁净厂房4500平米。 2024/E 投入使用。

使用纳米谷三期预留地持续丰富产品工艺、研发验证规模，主要包括衍射波导镜片及模组、微纳光学器件两大方向。预留地块占地3600平方米，可新建洁净厂房8000平方米。
2024/E 开工，2026/M 投入使用。