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集智能器件研发、设计、验证与产业化为一体的综合性平台
平台介绍
汇聚国际顶尖团队,依托国家级资源,作为知识城智能器件设计的核心驱动力
微纳智能器件工程与创新验证平台(SMILE),是国家纳米智造产业创新中心倾力打造的集智能器件研发、设计、验证与产业化为一体的综合性平台。该平台面向智能汽车、智慧交通、智慧物流、智慧医疗等前沿领域,致力于构建智能器件创新与工程验证的完整生态链。平台分三期推进:一期奠定基础,二期强化验证,三期涵盖初试至中试全面流程,支持智能器件标准化、规模化应用。
平台汇聚国际顶尖团队,依托国家级资源,作为知识城智能器件设计的核心驱动力。
不仅拥有国际一流的微纳加工与制造设备,如光刻、刻蚀、镀膜、掺杂以及干湿法等;针对微纳智能器件的特殊工艺,已布局深硅刻蚀、压电溅射镀膜、晶圆键合等特色工艺设备。同时整合了广泛的产学研合作资源,联合智能器件公司、集成应用企业、高校院所及孵化团队,共同推动智能器件技术的创新与突破。特色服务:单站工艺验证、早小难贵初试帮扶。
不仅拥有国际一流的微纳加工与制造设备,如光刻、刻蚀、镀膜、掺杂以及干湿法等;针对微纳智能器件的特殊工艺,已布局深硅刻蚀、压电溅射镀膜、晶圆键合等特色工艺设备。同时整合了广泛的产学研合作资源,联合智能器件公司、集成应用企业、高校院所及孵化团队,共同推动智能器件技术的创新与突破。特色服务:单站工艺验证、早小难贵初试帮扶。
