光学类（减反射膜、高反射膜、分光膜和滤光膜等）薄膜蒸镀。4/6/8英寸兼容，支持3个以上坩埚，介质膜沉积，均匀性±5%，片间均匀性±5%；光学玻璃、石英等衬底上镀减反射膜、高反射膜、分光膜和滤光膜，以及其他功能性薄膜材料。