手动，适用6/8英寸和不规则片；光刻胶去胶速率>1000nm/min；光刻胶去胶均匀性：片内<25%，片间<15%；批间<15%，刻蚀后去胶缺陷数与当层光刻前缺陷对比增加量<20ea（粒径>0.2µm)