电感耦合等离子体化学气相沉积 - 国纳安芯

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电感耦合等离子体化学气相沉积

4/6/8英寸兼容，氧化硅沉积，非晶硅沉积，具备应力调控系统，均匀性±5%，圆形基片的薄膜沉积用于沉积介质膜(Si02、SiNx、非晶硅)。