适用于6/8英寸，支持3种以上掺杂源，注入能量可达200keV,注入角度可调整，具备自动传片功能，注入工艺常见元素B、P；均匀性≦1.5%；注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制。