6/8英寸兼容，最高温度1100℃，膜厚均匀性±3%，折射率+-0.01，支持50片以上晶圆，炉管内控温精度±0.5℃，片内均匀性≤5%，片间均匀性≤5%，晶圆样本的干氧氧化，氢氧合成-湿氧氧化。